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共晶ダイボンダ
印刷用ページを表示する 更新日：2024年6月20日更新
- 分類
- N：半導体製造・MEMS加工
- 対象
- 仕様
ボンディング方式：共晶ボンディング方式（熱＋荷重＋スクラブ）
操作方法：X-Y-Z 3軸マニピュレーター
コレット：6本までの吸着コレットを取付け可能
ピックアップコレット：穴径=381μm、先端径=762μm
荷重：10g から 75g まで
スクラブサイクル：0 から 50サイクル まで 1サイクル単位で設定可
スクラブストローク：0.2Mil から 20Mil まで（約5μm から 50μmまで） 0.2Mil単位で設定可
ワーク寸法：1mm×1mm から 30mm×30mm まで
基板加熱：350℃まで、窒素ブロー、簡易窒素パージ機能付き- 用途
- 共晶材（AuSn等）によるチップ部品の実装
- 製造者
- ハイソル株式会社（WEST BOND,INC）
- 型番
- MODEL-7327C
- 導入年度
- 2010
- 設置場所
- 本部
- グループ
- 電気技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
プリフォーム材料、コレットは利用者持込みでお願いします。
【MEMS関連設備】
以下のウェブページに記載の関連設備をご参照ください。
/site/electronics/mems.html/
| 設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
|---|---|---|---|---|---|
| 機器利用 | 9.1. | ダイボンダ 共晶ダイボンダ[1時間につき] | S91121 | 560円 | 1,030円 |
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