分析機能付き走査電子顕微鏡［本部］

分解能： 3 nm（2次電子像、高真空モード）
倍率： 5倍 から 30万倍 まで（実用倍率数万倍程度まで）
分析検出器： エネルギー分散形（SD検出器、液体窒素レスタイプ）
検出可能元素：5B から 92U まで

（2024年9月9日追記）装置不具合によりエネルギー分散型X線分光を実施できません（像観察・写真撮影は可能です）。定性分析可能な代替機利用についてはご相談ください。

• 機器利用ライセンス制度対象機器となります。セミナー（3時間）を受けてライセンスを取得した方のみ、ご利用可能です（機器利用のご案内はこちら [PDFファイル／161KB]）。
• 材料・製品について、表面形状を観察したり、構成元素を分析したりすることができます。
• 導電性のない試料の観察・分析のため、コーティング装置（金・白金・炭素）を用意しています。
  （低真空モードを用いることで、コーティングなしで観察・分析できる場合もあります）
• 光学顕微鏡に比べて、焦点深度が深いのが特徴です。
• 試料移動範囲
  　　　X方向：125 mm
  　　　Y方向：100 mm
  　　　Z方向：ユーセントリック面移動範囲　WD5～80 mm
  　　　傾斜：-10～+90度（試料ホルダのサイズにより傾斜制限が異なります）
  　　　回転：360度エンドレス
• 試料台ホルダーは、直径32、51、76 mmの三種類を用意しています。

分析機能付き走査電子顕微鏡の紹介 [PDFファイル／474KB]