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三次元表面形状測定機[複合素材技術G]

印刷用ページを表示する 更新日:2022年4月1日更新
設備利用
機器利用
分類
G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
対象
 
仕様

水平分解能:0.52μmから3.80μmまで
観察視野:0.11×0.14mm から 2.10×2.81mmまで
垂直測定範囲:150μm未満

用途
顕微鏡タイプの非接触表面形状測定機。走査型白色干渉法(SWLI)と周波数領域解析(FDA)を組み合わせた測定アルゴリズムによって、垂直分解能0.1nmの測定が可能
製造者
Zygo
型番
New view 600s
導入年度
2009
設置場所
多摩テクノプラザ
グループ
複合素材技術グループ
試験規格対応
備考

ライセンス制度対象機器
初めて機器利用される場合は利用方法習得セミナーを受講し、ライセンスを取得してください。

※2022年4月時点、利用方法習得セミナーは中止しております。

設備利用料金表
設備利用 分類番号 試験項目 項目コード 中小料金 一般料金
機器利用 12.6. 走査型白色干渉測定機(※ライセンス制度対象機器) [1時間につき] SC1611 1,030円 2,070円

三次元表面形状測定機

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