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三次元表面形状測定機[複合素材技術G]
印刷用ページを表示する 更新日:2022年4月1日更新
- 分類
- G:形状計測・カメラ:寸法・形状計測
- 対象
- 仕様
水平分解能:0.52μmから3.80μmまで
観察視野:0.11×0.14mm から 2.10×2.81mmまで
垂直測定範囲:150μm未満- 用途
- 顕微鏡タイプの非接触表面形状測定機。走査型白色干渉法(SWLI)と周波数領域解析(FDA)を組み合わせた測定アルゴリズムによって、垂直分解能0.1nmの測定が可能
- 製造者
- Zygo
- 型番
- New view 600s
- 導入年度
- 2009
- 設置場所
- 多摩テクノプラザ
- グループ
- 複合素材技術グループ
- 試験規格対応
- 備考
ライセンス制度対象機器
初めて機器利用される場合は利用方法習得セミナーを受講し、ライセンスを取得してください。※2022年4月時点、利用方法習得セミナーは中止しております。
設備利用 | 分類番号 | 試験項目 | 項目コード | 中小料金 | 一般料金 |
---|---|---|---|---|---|
機器利用 | 12.6. | 走査型白色干渉測定機(※ライセンス制度対象機器) [1時間につき] | SC1611 | 1,030円 | 2,070円 |
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