【オンデマンド配信】装置動画で学ぶリソグラフィ工程－スピンコート・露光・現像を中心に－

状態

募集あるいは開催を終了した研修

種別

セミナー

種目

オンデマンド配信

概要

半導体・MEMSセンサや、光回折格子、マイクロ流路チップなどにみられる微細構造の製造工程では、紫外線フォトリソグラフィや、電子線リソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィといったナノからマイクロメートルスケールのパターニング技術が利用されています。本オンデマンド配信では、当センターの加工設備を用いた実験室レベルでのリソグラフィ工程の動画を交えて紹介し、入門知識の解説を行います。また、ガラス基板に成膜された金属薄膜をウェットエッチングして作る光学回折格子の試作工程を紹介し、理解を深めていただきます。これから微細加工やリソグラフィ技術の知識を深めたいと考えている方のご参加をお待ちしております。
※1 本配信の内容は、過去（2021から2023年度）に配信された「MEMS微細加工入門1・リソグラフィ」、及び「ナノ・マイクロスケールの微細加工入門シリーズ・装置動画で学ぶリソグラフィ工程」と同等のものです。
※2 本配信の解説は音声読み上げソフト使用しています。
※3 配信動画の著作権は都産技研に帰属します。録音・録画はご遠慮ください。

開催日時

日付

2024年7月23日火曜日から7月29日月曜日

時間

開催期間内であればいつでもご視聴いただけます。

日数

7日間

会場

会場

オンデマンド配信

募集要項

定員

20名

受講料（消費税込み）

1000円

お申込・お問い合わせ

地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 技術振興室　技術セミナー係
〒135-0064東京都江東区青海2-4-10　
TEL:03-5530-2308

開催案内

開催案内